FHR Anlagenbau GmbH Halle 8 – Stand F114
- Dünnschichttechnologie
- Anwendungen und Verfahren zur Herstellung optisch dünner Schichten
- Vakuum / Hochvakuumtechnik
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18. Oktober 2022 von 15:40 bis 16:10 Uhr
Beschichtungsequipment für die Herstellung optischer Schichten
FHR Anlagenbau GmbH
Dr. Ronny Kleinhempel
Halle 8 Raum Symmetrie 2 + 3 FORUM
Beschichtungsanlagen für hochpräzise Optiken
Interferenzbeschichtungen für optische Anwendungen erfordern eine hohe Gleichmäßigkeit der optischen Schichten und eine geringe Kontamination mit Defekten und Partikeln, um den Industriestandards für eine hohe Produktivität gerecht zu werden: eine gute Ausbeute und hohe Wiederholbarkeit der …mehr
Spatial Atomic Layer Deposition für die Produktion mit hohem Durchsatz
Die FHR.Star.400x300-SALD ist ein rotierendes ALD-System, das eine ultraschnelle und hochgradig konforme Beschichtung auf ebenen und strukturierten Oberflächen bietet. Die große Substratkapazität ermöglicht die Beschichtung von 8 Stück 300mm Wafern bzw. 12 Stück 200-mm-Wafern oder 4 Stück …mehr
FHR Anlagenbau GmbH
