Produktneuheit 10. Oktober 2022

Spatial Atomic Layer Deposition für die Produktion mit hohem Durchsatz

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Spatial Atomic Layer Deposition Halterung

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Die FHR.Star.400x300-SALD ist ein rotierendes ALD-System, das eine ultraschnelle und hochgradig konforme Beschichtung auf ebenen und strukturierten Oberflächen bietet. Die große Substratkapazität ermöglicht die Beschichtung von 8 Stück 300mm Wafern bzw. 12 Stück 200-mm-Wafern oder 4 Stück 3D-Substraten mit Abmessungen von 400 x 300 x 10 mm³ pro Durchlauf. Eine Plasmaquelle kann integriert werden, um PEALD-Prozesse zu ermöglichen. Die FHR.Star.400x300-SALD ist voll kompatibel zur Produktfamilie FHR.Star Clustersystem und mit anderen FHR-Technologiemodulen kombinierbar. Das System ist für die Integration von In-situ-Ellipsometrie ausgelegt, was eine effektive Prozesskontrolle ermöglicht.

Vorteile für den Kunden:

- Industrielles Produktionstool kompatibel mit FHR.Star Clusterplattform (Transfer, Magazin, Sputtern,...)
- Erhöhte Produktivität durch hohe Substratkapazität
- Vollautomatische Prozesssteuerung
- Automatisierte Wartungsroutinen

Typische Anwendungen:

- Optische Beschichtungen
- Barriere Schichten
- Photovoltaik
- High-k-Dielektrika

Besondere Merkmale:

- Ultraschnelle Abscheidung
- Hohe Oberflächenkonformität
- Hervorragende Gleichmäßigkeit
- Hergestellt in Deutschland