FHR Anlagenbau GmbHHalle 3.1 – Stand 220
- Dünnschichttechnologie
- Anwendungen und Verfahren zur Herstellung optisch dünner Schichten
- Vakuum / Hochvakuumtechnik
Beschichtungsanlagen für hochpräzise Optiken
Interferenzbeschichtungen für optische Anwendungen erfordern eine hohe Gleichmäßigkeit der optischen Schichten und eine geringe Kontamination mit Defekten und Partikeln, um den Industriestandards für eine hohe Produktivität gerecht zu werden: eine gute Ausbeute und hohe Wiederholbarkeit der …mehr
Spatial Atomic Layer Deposition für die Produktion mit hohem Durchsatz
Die FHR.Star.400x300-SALD ist ein rotierendes ALD-System, das eine ultraschnelle und hochgradig konforme Beschichtung auf ebenen und strukturierten Oberflächen bietet. Die große Substratkapazität ermöglicht die Beschichtung von 8 Stück 300mm Wafern bzw. 12 Stück 200-mm-Wafern oder 4 Stück …mehr
FHR Anlagenbau GmbH
