Produktneuheit 24. April 2024

Die Meridian ist eine RF Plasma unterstützte reaktive Magnetronsputteranlage für die Hochgeschwindigkeitsabscheidung von hochpräzisen optischen Beschichtungen für ein breites Spektrum von Anwendungen. Mit Meridian-Anlagen lassen sich dünne Schichten aus einer Vielzahl von Materialien mit hoher Genauigkeit und ausgezeichneter Qualität herstellen. Unser optisches Überwachungssystem ermöglicht es, die Prozesse vollautomatisch durchzuführen und die Ausbeute erheblich zu steigern.

Wichtigste Vorteile:
- Sputterkonfiguration für partikelfreie Beschichtungsprozesse
- Sputter-Up-Konfiguration
- AC-Konfiguration mit Doppelmagnetron und hoher Ausbeute
- Langlebige RF-Plasmaquellen zur Vorreinigung und Unterstützung
- Direkt auf dem Substrat Optisches Überwachungssystem I-Photonics OCP
- Doppelt rotierender Planeten-Substrathalter ermöglicht die Montage verschiedener Substratgrößen (200, 250 und 300 mm)

Anwendungen:
- Ultraschmalbandpassfilter
- Multizonen-Filter
- Steilkantenfilter
- Einfach- und Mehrfach-Kerbenfilter
- Laser-Spiegel
- Dünnschicht-Polarisatoren
- Strahlteiler