Produktneuheit

10.03.2020

COLT10 10-fach Quarz-Messkopf für zuverlässige Dünnschichtmessungen

COLT10 10-fach Quarz-Messkopf
COLT10 10-fach Quarz-Messkopf

Der COLT10 Quarz-Messkopf ist ein einzigartiger Dünnschicht-Sensor, der mit einem rotierenden und trotzdem wassergekühlten Quarzmagazin für 10 Standard-Quarze ausgestattet ist. Dabei ist er mit 88 mm Außendurchmesser sehr kompakt. Während bei herkömmlichen Mehrfach-Messköpfen lediglich das Gehäuse wassergekühlt ist, sorgt beim COLT10 die aktive Kühlung des rotierenden Quarzhalters zusammen mit der Kühlung des Gehäuses für reproduzierbare Messergebnisse und lange Standzeiten.

Über den integrierten Schrittmotor, der über eine Selbstausrichtung verfügt, kann jede Quarzposition von allen typischen Steuerungsgeräten exakt und schnell angefahren werden.

Der Messkopf kann beliebig in einer Vakuumkammer eingebaut werden und benötigt für die Ansteuerung lediglich einen KF16-Anschluss für alle zuführenden Medien. Alternativ bietet der Messkopf auch die Möglichkeit der Montage mittels eines zentralen "QSK"- Flansches mit 60 mm Durchmesser und variabler Eindringtiefe des Messkopfes.

Optional kann eine Blende für den aktiven Quarz angebaut werden, um die Beschichtung des Quarzes zu unterbrechen und z.B. die Prozesszeiten mittels Sample&Hold-Technologie zu verlängern. Auch hier erfolgt die pneumatische Ansteuerung über den seitlichen oder rückseitigen KF16-Anschlussflansch.

Ansprechpartner

Halle 3.1 – Stand 614

Produktgruppe

Dünnschichttechnologie

Kontakt

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  • Wolfgang-Paul-Str.4
    Science Park III
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