Messehighlight 10. Oktober 2022

Die Systeme IZOVAC LIDIZ sind das Ergebnis der 50 jährigen Erfahrung in der Ionenstrahl-Technologie der IZOVAC Unternehmensgruppe.
Die Ionenstrahl-Systeme LIDIZ sind ein effektives Werkzeug für die Abscheidung der optischen Präzisionsbeschichtungen für eine breite Palette von Anwendungen:
- DWDM/CWDM
- Die Laserspiegel
- Die gechirpten Spiegel
- Die Bandpassfilter
- Die Multiband-Bandpassfilter
- Die Notch-Filter und Multi-Notch-Filter
- Die Rugate-Filter
- Die Steep edge Filter
- Die Optik mit dem geringen Streu- und Absorptionsverlust
- Die Dünnschichtpolarisatoren
- Die Weitwinkel-Antireflexionsbeschichtungen
- Die Beschichtungen auf Fasern
- Die AR-Beschichtungen auf Laserdioden
- Die Beschichtungen mit geringen Mängeln
- Die verlustarme HR- oder AR-Beschichtungen (Gesamtverlust beträgt weniger als 10 ppm)
- Die Mehrschichtfilter (> 100 Schichten) mit hohen Anforderungen an Präzision und Dickenkontrolle
LIDIZ ist mit der HF-Gitter-Ionenstrahl-Sputterquelle, der HF-Gitter-Ionenstrahlquelle für die Vorreinigung von Substraten, der Oberflächenaktivierung, der Sputterunterstützung und dem HF-Neutralisator ausgestattet.
Die intellektuellen IZOVAC-Überwachungssysteme bieten eine hohe Ausbeute und Zuverlässigkeit bei der Abscheidung von Mehrschichtbeschichtungen für die Präzisionsoptik und Laser. In Abhängigkeit von dem Abnehmer bietet IZOVAC Überwachungssysteme in unterschiedlichen Konfigurationen an: Einzelwelle, Breitband, Duo (mit 2 Steuertypen in einem System).
Mehrzielhalter (bis zu 4 Zielen) und regelbare Substrathalter bieten maximale Produkt- und technologische Flexibilität.
Zu den Hauptkonfigurationen der Beschichtungsmaschine gehören auch die Telekom Version (hauptsächlich für die Herstellung von Telekommunikationschips konfiguriert) und die Version für die Massenproduktion (konfiguriert mit der vergrößerten Kammer und dem vergrößerten Substrathalter).